图书介绍

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纳机电基础效应与器件
  • 张文栋等著 著
  • 出版社： 北京：科学出版社
  • ISBN：7030322821
  • 出版时间：2011
  • 标注页数：322页
  • 文件大小：82MB
  • 文件页数：374页
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图书目录

第1章 绪论1

1.1纳机电器件与系统基本概念1

1.2国内外研究现状2

1.3本书主要内容11

参考文献11

第2章 纳机电器件的尺度效应和耦合问题13

2.1纳机电器件尺度效应13

2.1.1弹性模量的尺度效应及纳尺度下力学理论适用性13

2.1.2硅纳米梁的能量耗散机制17

2.1.3纳尺度下理论模型适用性分析30

2.2纳机电介观压阻效应36

2.2.1力学分析36

2.2.2电子能态和内建电场的影响44

2.2.3量子阱共振隧穿47

2.2.4介观压阻效应的定量表述54

2.2.5电子自旋对介观压阻效应影响方式的理论研究58

2.3量子惯性效应研究60

2.3.1原子系统的相干控制及相干原子源60

2.3.2相干集成原子光学研究63

2.3.3原子量子惯性传感理论和测试方法研究66

2.4纳机电连续结构尺度效应的表征研究80

2.4.1微米/纳米尺度并行结构的尺度效应表征研究80

2.4.2典型纳米结构谐振特性的实验表征82

2.4.3典型纳机电结构谐振特性的测试84

2.4.4内耗效应研究86

参考文献87

第3章 纳机电器件基础结构制造、测试和表征方法91

3.1纳机电结构加工的关键新工艺及机理研究92

3.1.1纳机电结构的成型方法92

3.1.2纳米结构定位、定向组装方法115

3.1.3纳米（机电）结构的电连接方法118

3.1.4纳米功能薄膜制备方法124

3.2纳机电功能结构加工的共性集成工艺研究132

3.2.1具有“纳米宽度梁”特征的纳机电功能结构的集成工艺132

3.2.2具有“纳米厚度梁”特征的纳机电功能结构的集成工艺136

3.2.3具有“纳米柱/针尖”特征的纳机电功能结构的集成工艺138

3.3纳机电器件基础结构加工的集成工艺研究141

3.3.1纳机电惯性敏感结构集成制造工艺141

3.3.2纳机电介观压阻效应传感结构集成制造工艺142

3.3.3纳机电谐振器结构集成制造工艺149

3.4纳米结构特性测试与表征方法研究150

3.4.1纳米薄膜应力片上测试方法和相应测试结构150

3.4.2纳米结构尺寸形貌测量方法154

3.4.3纳米结构静力学特性、振动特性测试方法160

参考文献164

第4章 纳机电加速度传感器169

4.1纳机电加速度计基础结构设计及建模仿真研究169

4.1.1纳机电加速度计基础结构设计169

4.1.2纳机电加速度计基础结构的建模仿真170

4.2纳机电加速度计结构测试方法研究176

4.2.1纳机电静力学分析与测试176

4.2.2纳机电动力学模型与测试178

4.2.3纳机电加速度计结构测试182

4.3纳机电加速度计特性和性能测试203

参考文献206

第5章 纳机电声传感器208

5.1介观压阻效应基础结构的验证与传感机理208

5.1.1纳机电力电耦合敏感结构的优化设计与仿真分析208

5.1.2压力传感器结构设计及微分负阻特性验证217

5.1.3纳机电力电耦合敏感结构的加工及其介观压阻效应219

5.1.4纳机电力电耦合敏感结构信号解算电路研究228

5.2纳机电水声传感器的设计和加工232

5.3纳机电声传感器的集成封装与性能测试243

5.3.1纳机电声传感器的集成封装244

5.3.2纳机电声传感器的水下性能测试245

参考文献255

第6章 纳机电谐振器259

6.1纳机电谐振器的Q值分析、驱动及检测设计259

6.1.1纳机电谐振器的Q值分析259

6.1.2纳机电谐振器的驱动设计261

6.1.3纳机电谐振器检测方法研究264

6.2纳机电谐振器基础结构的制备266

6.3纳机电谐振器基础结构的性能271

参考文献275

第7章 微流体角速度传感器277

7.1微流体角速度传感机理研究277

7.1.1微流体定向运动结构设计277

7.1.2微流体定向运动的协调控制方法研究283

7.1.3微流体角速度传感的微观机理研究287

7.2微流体行为可视结构实现方法研究292

7.2.1低应力振动膜的关键加工工艺的优化和设计292

7.2.2玻璃衬底上悬浮敏感梁的设计和制作295

7.2.3利用多层掩模制造4种不同深度的硅结构300

7.2.4振动膜上电极的低电阻连接302

7.3微流体角速度传感技术实现方法研究303

7.3.1热流式角速度传感器结构加工303

7.3.2射流式角速度传感器结构加工305

7.4微流体信号处理方法与试验研究307

7.4.1敏感信号检测307

7.4.2驱动控制技术研究308

7.4.3微流体角速度传感器测试311

参考文献315

第8章 纳机电器件与系统的发展趋势及应用前景317

附录 缩略语321

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