图书介绍
工程纳米测量基础 第2版PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- （英）理查德·利奇著；袁道成等译 著
- 出版社： 杭州：浙江大学出版社
- ISBN：9787308175630
- 出版时间：2017
- 标注页数：300页
- 文件大小：28MB
- 文件页数：311页
- 主题词：纳米技术－应用－精密工程测量
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图书目录
第1章 微纳米和先进制造中的测量技术1
1.1工程纳米测量的定义3
1.2本书主要内容4
参考文献4
第2章 测量基础知识7
2.1测量技术简介7
2.2测量单位和国际单位制8
2.3长度9
2.4质量13
2.5力14
2.6角度15
2.7可溯源性15
2.8准确度、精密度、分辨力、误差和不确定度17
2.9激光23
参考文献30
第3章 精密测量仪器设计原则35
3.1几何问题35
3.2运动学设计36
3.3动力学39
3.4阿贝原则40
3.5弹性压缩41
3.6力回路42
3.7材料43
3.8对称45
3.9隔振45
参考文献49
第4章 干涉法长度溯源53
4.1长度溯源53
4.2量块：既是量具又是溯源工具54
4.3干涉测量技术简介56
4.4干涉仪设计60
4.5干涉法量块测量67
参考文献76
第5章 位移测量79
5.1位移测量概述79
5.2基本术语80
5.3干涉法位移测量80
5.4应变传感器94
5.5电容位移传感器95
5.6涡流和电感位移传感器96
5.7光学编码器98
5.8光纤传感器99
5.9其他光学位移传感器101
5.10位移传感器校准101
参考文献105
第6章 表面形貌测量仪器111
6.1表面形貌测量简介111
6.2空间波长范围112
6.3经典表面形貌测量仪器的历史背景113
6.4表面轮廓测量115
6.5面域表面形貌测量116
6.6表面形貌测量仪器118
6.7光学仪器121
6.8电容式仪器143
6.9气动仪器144
6.10表面形貌测量仪器校准144
6.11表面形貌测量不确定度151
6.12计量特性153
6.13表面形貌测量仪器比对155
6.14空间频率响应确定156
6.15软件测量标准157
参考文献158
第7章 扫描探针与粒子束显微镜171
7.1扫描探针显微镜172
7.2扫描隧道显微镜173
7.3原子力显微镜174
7.4原子力显微镜测试物理量的实例188
7.5测量纳米颗粒的扫描探针显微镜189
7.6电子显微镜190
7.7其他粒子束显微镜技术196
参考文献196
第8章 表面形貌表征201
8.1表面形貌表征概况201
8.2表面轮廓表征202
8.3表面形貌的面域表征217
8.4分形方法235
8.5轮廓和面域表征的比较240
参考文献241
第9章 坐标测量247
9.1坐标测量机简介247
9.2坐标测量机的误差来源251
9.3坐标测量机的可溯源性、校准和性能验证252
9.4微坐标测量机254
9.5微坐标测量机测头257
9.6微坐标测量机的验证和校准264
参考文献268
第10章 质量和力的测量275
10.1传统质量测量的可溯源性275
10.2小质量测量282
10.3小力值测量283
参考文献292
附录A：测量的国际单位及其在NPL的实现297
附录B ： SI导出单位299