图书介绍

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微光机电系统 MOEMS
  • 张文栋，熊继军编著 著
  • 出版社： 北京：机械工业出版社
  • ISBN：7111192664
  • 出版时间：2006
  • 标注页数：310页
  • 文件大小：56MB
  • 文件页数：322页
  • 主题词：微光技术－应用－机电系统

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图书目录

1.1 微光机电系统的定义与历史1

1.1.1 MOEMS的定义1

第1章 微光机电系统概述1

1.1.2 MOEMS发展历史2

1.2 MOEMS的应用和市场前景3

1.2.1 MOEMS器件的特点3

1.2.2 形成产业的几个MOEMS实例3

1.2.3 MOEMS器件的市场情况7

1．在线资源8

1.2.4 现阶段MOEMS研究的主要问题8

1.3 与MOEMS相关的资讯8

2．与MOEMS相关的会议9

3．参考书与论文收集9

4．杂志9

参考文献10

第2章 MOEMS的设计与仿真11

2.1 微型化带来的“特殊”理论问题11

3．流体力学中的尺寸效应12

2．部分力的尺寸效应12

1．几何结构学中的尺寸效应12

4．热传递中的尺寸效应13

2.2 MOEMS的设计过程13

2.2.1 微系统设计流程13

2.2.2 微系统设计实例14

1．类型选择和指标确定15

2．压阻式微加速度计的结构设计及工作原理15

4．加速度计主要性能指标测量方法18

3．工艺流程18

2.3 MOEMS的仿真及其软件19

2.3.1 器件设计模拟的具体方法20

1．工艺设计20

2．掩膜版图设计20

3．结构仿真器21

4．材料特性数据库21

5．器件的模拟和优化21

2.3.2 MOEMS CAD软件21

3．ANALYZERTM22

1．ARCHITECTTM22

2．DESIGNERTM22

4．INTEGRATORTM23

参考文献24

第3章 典型的微结构制造工艺26

3.1 微电子工艺概述26

3.1.1 光刻26

3.1.2 刻蚀27

1．湿法刻蚀27

2．干法刻蚀28

3.1.3 薄膜淀积28

1．氧化28

2．化学气相淀积28

3．蒸发28

4．溅射29

3.2 表面工艺29

3.2.1 表面工艺的工艺流程29

1．制膜工艺30

3.2.2 表面工艺中的关键工艺30

2．牺牲层工艺31

3.2.3 标准工艺31

3.3 体硅工艺34

3.3.1 体硅工艺的工艺流程34

3.3.2 体硅工艺中的关键工艺34

1．各向同性和各向异性湿法刻蚀34

2．湿法腐蚀36

3．干法腐蚀37

4．感应耦合（ICP）离子刻蚀38

3.3.3 标准工艺39

3.4 LIGA工艺41

3.4.1 LIGA工艺流程41

1．标准工艺41

2．准LIGA工艺42

3.4.2 LIGA工艺中的关键工艺42

3.5 微制造工艺小结44

参考文献44

1．压阻敏感原理46

4.1.1 微传感器件通常采用的敏感原理46

4.1 MOEMS器件的敏感原理和执行方式46

第4章 MOEMS器件46

2．电容敏感原理47

3．隧道电流敏感原理49

4.1.2 微执行器件通常采用的执行方式50

1．静电执行方式50

2．压电执行方式51

3．热执行方式52

4．电磁执行方式53

4.2 微力学器件54

4.2.1 微力学传感器54

1．微压力传感器54

2．微加速度计70

3．微陀螺仪86

4．微传声器97

5．微位移传感器102

4.2.2 力学执行器103

1．微马达103

2．微开关108

3．微夹钳111

4.3 RF微器件116

4.3.1 基本器件116

1．RF微开关116

2．微电容130

3．微电感141

4．微天线148

4.3.2 组件160

1．移相器160

2．滤波器167

3．谐振器169

4.4 微光学器件172

4.4.1 典型光学微传感器与微执行器173

1．红外探测器173

2．数字微镜器件与数字光路处理器179

3．栅状光阀成像系统182

4.4.2 微光通信器件185

1．微光开关185

2．光交叉连接器192

3．可调光衰减器196

4．微机械光纤耦合器200

4.5 微流体器件200

4.5.1 微流体传感器201

1．微流量传感器201

2．粘度／密度传感器203

4.5.2 微流体执行器204

1．微流体通道204

2．微阀209

3．微泵214

4．微混合器221

5．微喷226

4.6 其他微传感器228

4.6.1 微磁场传感器228

1．光纤弱磁场传感器229

2．微型磁场传感器231

3．微磁性组件238

4.6.2 微温度传感器240

参考文献243

5.1 微封装技术265

第5章 微系统集成265

5.1.1 微电子封装267

5.1.2 微系统封装268

1．分类268

2．基本技术及工艺277

5.2 微系统集成应用实例286

5.2.1 微推进系统286

1．工作原理286

2．国内外现状286

3．结构288

5.2.2 微惯性组合293

1．工作原理293

2．国内外现状294

3．结构294

5.2.3 微型分布式信息获取单元300

1．工作原理300

2．国内外现状300

3．结构302

参考文献308

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