微机电系统动力学PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载

微机电系统动力学PDF格式电子书版下载

注意：本站所有压缩包均有解压码： 点击下载压缩包解压工具

第1章 绪论1

1.1 MEMS技术革命历程2

1.2 MEMS的基本概念与特征4

1.2.1 MEMS的基本概念4

1.2.2 MEMS的基本特征6

1.3 MEMS动力学及其非线性特征8

1.3.1 MEMS的尺度力学特征8

1.3.2 MEMS的动力学特征9

1.3.3 MEMS动力学的非线性特征10

1.4 MEMS动力学研究概况11

1.4.1 MEMS动力学建模与分析方法11

1.4.2 MEMS动力学设计与控制16

1.4.3 MEMS动力学特性测试与实验方法17

1.4.4 MEMS材料与加工制造18

1.4.5 MEMS动力学发展趋势19

1.5 MEMS的市场和应用前景20

1.5.1 MEMS的市场情况20

1.5.2 MEMS的应用前景22

1.6 MEMS的相关资讯27

1.6.1在线资源27

1.6.2参考书籍27

1.6.3国际期刊28

1.6.4国际会议28

参考文献29

第2章MEMS动力学理论基础33

2.1尺度效应33

2.1.1几何结构学中的尺度效应33

2.1.2刚体动力学中的尺度效应34

21.3物理参数的尺度效应36

2.2微驱动原理及尺度效应38

2.2.1典型微驱动构件38

2.2.2典型微驱动机构42

2.2.3微驱动基本原理44

2.2.4驱动力的尺度效应51

2.2.5典型微机械的尺度效应54

2.3 MEMS力学特性57

2.3.1 MEMS材料力学特性57

2.3.2 MEMS固体力学特性62

2.3.3 MEMS流体力学特性72

2.3.4 MEMS热力学特性76

2.4 MEMS振动特性80

2.4.1振动微分方程81

2.4.2无阻尼自由振动81

2.4.3阻尼自由振动82

2.4.4简谐力激励的受迫振动83

2.4.5模态分析理论基础84

2.5 MEMS摩擦学86

2.5.1 MEMS摩擦学特征86

2.5.2 MEMS中的摩擦力87

2.5.3 MEMS摩擦学性能88

2.5.4 MEMS表面润滑技术89

2.6微尺度理论研究方法91

参考文献92

第3章MEMS动力学建模与仿真94

3.1 MEMS建模与仿真概论94

3.2 MEMS宏建模与分析方法96

3.2.1节点分析法97

3.2.2等效电路法100

3.2.3现代硬件描述语言宏模型106

3.2.4黑箱分析模型111

3.2.5端点特性法112

3.3 MEMS多能量场耦合降阶建模118

3.3.1 Churn过程分析法119

3.3.2 Krylov子空间法124

3.3.3 K-L分解分析法128

3.4 MEMS多能量场耦合模拟仿真131

3.4.1 MEMS多能量场耦合特性132

3.4.2 MEMS多能量场耦合分析133

参考文献135

第4章MEMS阻尼特性136

4.1气体阻尼136

4.1.1滑膜气体阻尼136

4.1.2压膜气体阻尼141

4.1.3稀薄气体阻尼151

4.1.4气体阻尼仿真157

4.2热弹性阻尼164

4.2.1热弹性阻尼基本概念164

4.2.2 Zener线性黏弹性体标准模型165

4.2.3微梁热弹性振动控制方程166

4.2.4微梁简谐振动热弹性方程求解168

4.2.5热弹性阻尼模拟与仿真170

参考文献172

第5章 静电驱动MEMS动力学175

5.1静电场基本理论175

5.2静电驱动基本方式176

5.2.1平行板电容结构176

5.2.2梳状电极结构178

5.2.3划痕驱动结构179

5.2.4扫描探针结构179

5.3微结构静电力分析180

5.3.1平行板电极间静电力180

5.3.2倾斜极板间静电力183

5.3.3梳状电极结构静电力184

5.3.4扫描探针针尖静电力185

5.4静电驱动MEMS的基本特性188

5.4.1吸合效应188

5.4.2固有非线性特性190

5.4.3“负”弹簧效应190

5.4.4等效刚度190

5.4.5静电刚度软化191

5.5静电驱动MEMS的动力学特性192

5.5.1系统动力学模型192

5.5.2参数激励和外激励响应194

5.5.3分岔与混沌行为分析197

5.6静电驱动MEMS的组合共振200

5.6.1多尺度摄动分析200

5.6. 2组合共振分析204

5.6.3振动特性分析205

参考文献216

第6章 微转子系统动力学218

6.1微旋转机械发展概论218

6.1.1微电机219

6.1.2动力MEMS227

6.2微转子系统摩擦磨损特性分析235

6.2.1摩擦磨损的尺度效应235

6.2.2微旋转机械摩擦磨损问题240

6.2.3微转子枢轴摩擦磨损特性分析244

6.2.4微转子轴衬摩擦磨损特性分析249

6.3微转子-固定轴承接触问题分析256

6.3.1接触模型分析256

6.3.2接触应力与应变的尺度效应分析259

6.3.3微转子-轴承接触有限元模型260

6.3.4数值计算与结果分析260

6.4碰摩微转子系统非线性动力特性分析265

6.4.1碰摩力分析265

6.4.2碰摩微转子的稳定性与分岔行为分析266

6.4.3微转子局部碰摩混沌运动的数值分析275

6.5微气体轴承动力润滑特性分析287

6.5.1微气体轴承研究概况287

6.5.2微转子系统径向气体轴承特性分析288

6.5.3微转子-气体轴承系统响应分析298

6.5.4微转子-气体轴承系统稳定性分析303

参考文献304

第7章MEMS动态测试技术308

7.1基本激励方法与技术308

7.1.1机械激励308

7.1.2静电激励309

7.1.3压电激励310

7.1.4电热激励311

7.1.5光激励312

7.1.6声激励312

7.1.7脉冲电火花激励313

7.1.8激波激励314

7.1.9冲击激励314

7.1.10磁致激励315

7.2 MEMS动态参数测量方法315

7.3计算机微视觉测试技术317

7.3.1计算机微视觉系统318

7.3.2显微镜的合理选择319

7.3.3目标搜寻和自动调焦320

7.3.4深度信息获取方法321

7.4频闪显微干涉视觉测试技术322

7.4.1频闪显微干涉视觉测量系统322

7.4.2表面形貌测量原理324

7.4.3全三维运动测量原理325

7.4.4计算机精确同步控制326

7.5激光多普勒测试技术327

7.5.1激光多普勒基本原理328

7.5.2运动测量原理与系统329

7.6光纤迈克尔逊干涉测试技术332

7.6.1迈克尔逊干涉系统及原理332

7.6.2干涉光光强与相位测量334

参考文献335