图书介绍
薄膜材料与薄膜技术 第2版PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 郑伟涛编著 著
- 出版社： 北京：化学工业出版社
- ISBN：9787122013149
- 出版时间：2008
- 标注页数：249页
- 文件大小：18MB
- 文件页数：260页
- 主题词：薄膜制品；薄膜技术
PDF下载
下载说明
薄膜材料与薄膜技术 第2版PDF格式电子书版下载
下载的文件为RAR压缩包。需要使用解压软件进行解压得到PDF格式图书。建议使用BT下载工具Free Download Manager进行下载,简称FDM(免费,没有广告,支持多平台）。本站资源全部打包为BT种子。所以需要使用专业的BT下载软件进行下载。如BitComet qBittorrent uTorrent等BT下载工具。迅雷目前由于本站不是热门资源。不推荐使用！后期资源热门了。安装了迅雷也可以迅雷进行下载！
（文件页数 要大于 标注页数，上中下等多册电子书除外）
注意：本站所有压缩包均有解压码： 点击下载压缩包解压工具
图书目录
第一章 真空技术基础1
第一节 真空的基本知识1
一、表示真空程度的单位1
二、真空区域的划分1
三、固体对气体的吸附及气体的脱附2
第二节 真空的获得2
一、旋片式机械真空泵3
二、复合分子泵4
三、低温泵5
第三节 真空的测量5
一、电阻真空计6
二、热偶真空计6
三、电离真空计7
参考文献8
第二章 薄膜制备的化学方法9
第一节 热氧化生长9
第二节 化学气相沉积10
一、一般化学气相沉积反应10
二、化学气相沉积制备薄膜的传统方法12
三、激光化学气相沉积16
四、光化学气相沉积16
五、等离子体增强化学气相沉积20
第三节 电镀27
第四节 化学镀28
第五节 阳极反应沉积29
第六节 LB技术30
参考文献31
第三章 薄膜制备的物理方法38
第一节 真空蒸发38
一、真空蒸发沉积的物理原理38
二、真空蒸发技术40
第二节 溅射54
一、溅射的基本原理54
二、溅射镀膜的特点57
三、溅射参数57
四、溅射装置58
第三节 离子束和离子助76
一、离子镀77
二、阴极电弧等离子体沉积83
三、热空阴极枪蒸发85
四、离子轰击共沉积86
五、非平衡磁控离子助沉积89
六、离子束沉积89
第四节 外延生长91
一、分子束外延（MBE）91
二、液相外延生长（LPE）95
三、热壁外延生长（HWE）96
四、有机金属化学气相沉积（MOCVD）98
参考文献101
第四章 薄膜的形成与生长109
第一节 形核109
一、凝聚过程109
二、Langmuir-Frenkel凝聚理论110
三、成核理论111
四、实验结果114
第二节 生长过程119
一、一般描述119
二、类液体合并120
三、沉积参数的影响122
第三节 薄膜的生长模式128
第四节 远离平衡态薄膜生长129
一、粗糙表面的结构和生长130
二、简单模型138
三、薄膜生长模型的实验研究140
参考文献141
第五章 薄膜表征144
第一节 薄膜厚度控制及测量144
一、沉积率和厚度监测仪144
二、膜厚度测量146
第二节 组分表征148
一、卢瑟福背散射（RBS）149
二、二次离子质谱仪（SIMS）155
三、X射线光电子能谱（XPS）157
四、俄歇电子能谱161
五、电镜中的显微分析168
第三节 薄膜的结构表征173
一、衍射参数173
二、热振动与Debye-Waller因子174
三、低能电子衍射（LEED）175
四、掠入射角X射线衍射（GIXS）178
五、透射电子显微镜179
第四节 原子化学键合表征180
一、能量损失谱（EELS）181
二、扩展X射线185
三、振动光谱：红外吸收光谱和拉曼光谱188
第五节 薄膜应力表征190
参考文献193
第六章 薄膜材料194
第一节 超硬薄膜材料194
一、超硬材料194
二、金刚石薄膜197
三、类金刚石薄膜材料203
四、CNx薄膜材料216
第二节 智能薄膜材料220
一、形状记忆合金薄膜材料221
二、NiTi形状记忆合金薄膜的制备和表征222
三、形状记忆合金及薄膜的应用224
第三节 纳米薄膜材料224
一、纳米多层膜涂层225
二、纳米复合硬质涂层226
三、应用及展望229
第四节 石墨片二维薄膜材料229
一、石墨片的实验制备230
二、石墨片的性质231
三、展望233
第五节 磁性氮化铁薄膜材料235
一、氮化铁薄膜材料的相结构235
二、氮化铁薄膜材料的制备与表征237
第六节 巨磁阻锰氧化物薄膜材料240
一、磁阻的定义241
二、钙钛矿锰氧化物薄膜中的CMR效应及机制研究241
三、锰氧化物薄膜制备工艺及表征手段244
四、巨磁电阻薄膜材料的应用现状245
参考文献245