图书介绍
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- 魏永广，刘存编著 著
- 出版社： 沈阳：东北大学出版社
- ISBN：7810546082
- 出版时间：2001
- 标注页数：221页
- 文件大小：7MB
- 文件页数：228页
- 主题词：传感器
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图书目录
第一章 绪论1
1.1 传感器的位置1
1.2 传感器的分类4
1.3 传感技术的发展6
1.4 智能传感器的发展13
1.5 传感技术基础14
第二章 硅微传感器与智能传感器34
2.1 概述34
2.2 薄膜技术36
2.3 硅微机械加工技术44
2.4 X射线深层光刻电铸成型技术62
2.5 微型传感器结构66
2.6 硅压力传感器70
2.7 硅微加速度传感器77
2.8 智能传感器82
第三章 光电传感器90
3.1 光探测器的物理基础91
3.2 光探测器100
3.3 热探测器119
4.1 光纤基本理论123
第四章 光纤传感器123
4.2 几种主要光纤波导134
4.3 光纤的激励与连接136
4.4 光纤传感器概述142
4.5 光纤传感器的调制技术145
4.6 光纤传感器的应用171
第五章 气敏传感器及应用179
5.1 概述179
5.2 电阻型气敏传感器184
5.3 固体电解质气敏传感器187
5.4 MOSFET 气敏传感器189
5.5 气敏传感器的应用198
第六章 离子敏传感器199
6.1 离子选择电极199
6.2 ISFET 离子敏传感器201
6.3 固态参比电极216
6.4 ISFET 的特点218
6.5 ISFET 的应用219
参考文献221