图书介绍
超快激光微纳加工 原理、技术与应用PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 程亚等著 著
- 出版社： 北京：科学出版社
- ISBN：9787030494535
- 出版时间：2016
- 标注页数：180页
- 文件大小：23MB
- 文件页数：200页
- 主题词：激光加工
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图书目录
第1章 超快激光加工概述1
1.1 超快激光加工介绍1
1.2 超快激光加工的特点2
1.2.1 热影响区的抑制2
1.2.2 降低等离子体屏蔽3
1.2.3 多光子吸收3
1.2.4 材料内部改性4
1.2.5 电介质中的载流子激发4
1.2.6 超快激光加工的空间分辨率4
1.3 超快激光材料处理5
1.3.1 表面微加工5
1.3.2 表面微纳结构制备7
1.3.3 纳米烧蚀8
1.3.4 双光子聚合9
1.3.5 透明材料的内部改性10
1.3.6 生物医学应用12
1.3.7 工业和商业应用13
参考文献14
第2章 超快激光技术简介21
2.1 超快激光技术21
2.1.1 掺钛蓝宝石激光器21
2.1.2 啁啾脉冲放大技术22
2.1.3 飞秒光纤激光器23
2.1.4 薄片激光器24
2.2 飞秒激光脉冲诊断技术24
2.2.1 飞秒脉冲的自相关测量25
2.2.2 频率分辨光学开关法25
2.2.3 自参考光谱相位相干电场重建法26
2.3 飞秒激光材料加工技术28
2.3.1 飞秒激光直写技术28
2.3.2 飞秒激光并行微纳加工技术29
2.4 飞秒激光脉冲整形技术31
2.4.1 飞秒激光脉冲的时域整形技术31
2.4.2 飞秒激光脉冲的空间整形技术32
2.4.3 飞秒激光脉冲的时空整形技术33
2.4.4 飞秒激光脉冲的偏振整形33
参考文献34
第3章 超快激光脉冲时空整形39
3.1 飞秒脉冲时域整形39
3.1.1 飞秒脉冲整形简介39
3.1.2 双/多脉冲加工44
3.1.3 脉冲时域自适应控制45
3.2 飞秒光束空间整形47
3.2.1 激光直写截面控制47
3.2.2 多光束并行处理49
3.2.3 自适应光束空间整形50
3.3 飞秒激光时空聚焦51
3.3.1 时空聚焦原理简介51
3.3.2 时空聚焦三维各向同性直写52
3.3.3 时空聚焦三维光刻54
3.3.4 脉冲前沿倾斜和焦面强度倾斜55
3.4 光束整形加工应用举例56
3.4.1 无衍射光束加工56
3.4.2 脉冲偏振整形加工58
3.4.3 飞秒激光超分辨加工59
参考文献60
第4章 超快激光对材料的表面处理65
4.1 飞秒激光加工薄膜材料65
4.1.1 飞秒激光对薄膜材料的烧蚀65
4.1.2 薄膜表面的微凸起结构67
4.2 材料表面的钻孔与切割68
4.2.1 表面钻孔68
4.2.2 表面切割69
4.3 飞秒激光诱导表面周期结构70
4.3.1 飞秒激光诱导表面周期结构的特点70
4.3.2 飞秒激光诱导表面周期性结构的形成机理73
4.4 硅表面微锥结构74
4.5 飞秒激光诱导表面微纳米结构的应用76
4.5.1 材料表面光学特性调控76
4.5.2 表面浸润特性调控80
4.5.3 生物化学应用82
参考文献83
第5章 基于双光子聚合的飞秒激光三维直写89
5.1 双光子聚合的原理89
5.2 双光子聚合的分辨率91
5.3 材料的功能化93
5.4 光学元件的加工95
5.5 微纳机械的加工97
5.6 微流体器件的加工98
5.7 医学和生物组织工程中的应用99
5.8 三维金属微纳结构的加工101
参考文献102
第6章 透明介电材料内部的三维光子学集成106
6.1 利用飞秒激光实现透明介电材料内部改性的原理概述106
6.2 透明材料内部中三维光波导的制备107
6.2.1 制作波导的影响因素108
6.2.2 波导的制作方式110
6.2.3 不同材料110
6.3 光子器件的制备114
6.3.1 分束器114
6.3.2 定向耦合器115
6.3.3 马赫-曾德尔干涉仪115
6.3.4 频率转换器117
6.3.5 有源光子器件117
6.3.6 集成量子光子回路118
6.3.7 其他微光学器件120
6.4 高品质光学微腔121
6.4.1 在玻璃上制备高品质的光学微腔122
6.4.2 制备高品质的晶体微腔123
参考文献125
第7章 飞秒激光直写制备微流控芯片和集成光流器件134
7.1 飞秒激光辅助湿法化学刻蚀制备微流结构135
7.2 水辅助飞秒激光直写制备微流结构139
7.3 水辅助飞秒激光直写制备纳流结构144
7.4 飞秒激光直写实现光流控集成146
7.4.1 自由空间微光学元件和微流控系统的集成146
7.4.2 光波导和微流控系统的集成149
7.4.3 集成芯片在生物医学研究中的应用150
参考文献152
第8章 超快激光加工在现代工业中的应用158
8.1 表面处理158
8.1.1 抗摩擦损耗结构158
8.1.2 浮雕和成型模具159
8.1.3 光电子功能性修饰161
8.2 高精度钻孔162
8.3 精密切割165
8.3.1 透明介质165
8.3.2 半导体和金属165
8.3.3 危险化学物品167
8.4 透明材料三维加工应用169
8.4.1 激光三维标记与光存储169
8.4.2 激光玻璃焊接170
8.5 医疗应用举例172
8.5.1 医用支架加工172
8.5.2 激光手术173
参考文献175
索引177