图书介绍
脉冲激光沉积类金刚石膜技术PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 程勇等帮助 著
- 出版社： 北京：科学出版社
- ISBN：9787030515513
- 出版时间：2017
- 标注页数：422页
- 文件大小：108MB
- 文件页数：435页
- 主题词：脉冲(力学)－激光淀积－应用－类金刚石膜－研究
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图书目录
第1章 类金刚石薄膜概述1
1.1 类金刚石膜的定义及性能1
1.1.1 类金刚石膜的定义1
1.1.2 类金刚石膜的性能8
1.2 类金刚石膜的制备方法11
1.2.1 物理气相沉积方法13
1.2.2 化学气相沉积方法31
1.2.3 液相沉积方法44
1.3 类金刚石膜的应用48
1.3.1 光学应用48
1.3.2 机械应用49
1.3.3 电学应用50
1.3.4 医学应用51
1.3.5 其他应用51
1.4 类金刚石膜研究难题及其改进技术52
1.4.1 类金刚石膜研究中存在的难题53
1.4.2 常见类金刚石膜改性技术55
1.4.3 类金刚石膜研究展望59
参考文献60
第2章 激光沉积法制备类金刚石膜的机理67
2.1 激光沉积法的原理67
2.2 激光沉积类金刚石膜及类石墨膜的理论模型70
2.2.1 “浅注入（亚种植）”生长模型71
2.2.2 “能量淬灭”生长模型76
2.2.3 “热峰”生长模型77
2.2.4 “离子刻蚀”生长模型77
2.3 激光沉积薄膜的诱导等离子体78
2.3.1 激光等离子体的形成与扩展78
2.3.2 激光等离子体膨胀的动力学81
2.3.3 等离子体的空间分布和飞行时间85
2.3.4 等离子体的光谱特性87
2.3.5 辅助气体对激光诱导等离子体的影响97
2.4 激光沉积法制备类金刚石膜的优缺点105
2.4.1 激光沉积法制备类金刚石膜的优点105
2.4.2 PLD法制备类金刚石膜的主要缺点及改进措施106
参考文献112
第3章 类金刚石膜的性能测试与表征115
3.1 傅里叶红外光谱115
3.2 拉曼光谱118
3.3 纳米硬度122
3.4 X射线光电子能谱129
3.5 椭偏光谱132
3.6 表面形貌136
3.6.1 扫描电子显微镜136
3.6.2 原子力显微镜138
3.7 摩擦磨损141
3.8 薄膜应力145
3.8.1 基片变形法146
3.8.2 X射线衍射法147
3.8.3 拉曼光谱法148
3.9 膜基附着强度149
3.9.1 纳米划痕法149
3.9.2 纳米压痕法151
3.9.3 刮剥法152
3.9.4 拉伸法152
3.9.5 抗剪切强度检测法154
3.10 环境试验155
3.10.1 牢固度试验155
3.10.2 温度试验155
3.10.3 侵蚀试验156
3.10.4 其他试验157
参考文献157
第4章 激光沉积法制备类金刚石膜的影响因素160
4.1 激光参数160
4.1.1 激光波长160
4.1.2 激光脉宽162
4.1.3 激光功率密度164
4.1.4 其他参数189
4.2 靶材性质190
4.2.1 常规固体靶材190
4.2.2 其他种类靶材193
4.3 气氛环境203
4.3.1 氢气氛环境204
4.3.2 氮气氛环境206
4.3.3 氧气氛环境211
4.3.4 惰性气体环境213
4.4 基底状态215
4.4.1 基底偏压215
4.4.2 基底温度218
4.4.3 基底倾斜222
4.4.4 基底预处理226
参考文献226
第5章 激光沉积法制备类金刚石膜的性能改进技术230
5.1 元素掺杂232
5.1.1 金属掺杂DLC膜233
5.1.2 非金属掺杂DLC膜238
5.1.3 化合物掺杂DLC膜245
5.2 退火后处理248
5.2.1 高温热退火248
5.2.2 激光退火258
5.3 结构设计271
5.3.1 周期性结构膜层271
5.3.2 缓冲过渡层277
5.3.3 基底预处理278
5.4 双激光沉积技术279
5.4.1 双激光沉积双层膜279
5.4.2 双激光沉积掺杂膜284
5.5 同步双脉冲沉积技术290
5.5.1 双脉冲同步延时沉积291
5.5.2 激光辐照等离子体沉积294
参考文献296
第6章 脉冲激光沉积类金刚石膜工程化研究301
6.1 PLD系统的工程化应用304
6.1.1 多功能设计306
6.1.2 产业化设计324
6.2 大尺寸基底均匀镀膜332
6.2.1 大尺寸平面333
6.2.2 大尺寸球面348
6.3 硫化锌窗口DLC增透保护膜356
6.3.1 研究目标及方案设计357
6.3.2 复合膜系（过渡层）设计360
6.3.3 梯度掺杂DLC保护膜设计366
6.3.4 硫化锌样品的综合性能369
参考文献372
第7章 脉冲激光沉积技术的应用及展望374
7.1 脉冲激光沉积技术制备功能薄膜374
7.1.1 透明导电氧化物薄膜375
7.1.2 高温超导薄膜381
7.1.3 铁性薄膜386
7.1.4 金属薄膜391
7.1.5 电化学薄膜394
7.1.6 摩擦力学薄膜398
7.1.7 光波导薄膜401
7.1.8 其他功能薄膜405
7.1.9 小结409
7.2 脉冲激光沉积技术展望410
7.2.1 超短脉冲与高重频激光410
7.2.2 双／多激光沉积技术411
7.2.3 结合其他沉积技术412
7.3 激光等离子-原子层沉积系统416
参考文献417