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目录1

第一章 绪论1

§1.1 电子显微镜概况1

§1.2 电子微探针仪概况5

§1.3 表面分析仪器概况7

§1.4 微细加工机概况9

参考文献11

第二章 电子透镜12

§2.1 磁透镜的聚焦性能12

§2.2 非对称及磁饱和磁透镜的聚焦性能18

§2.3 磁透镜的放大倍数22

§2.4 磁透镜的几何像差24

§2.5 磁透镜球差29

§2.6 磁透镜彗差31

§2.7 磁透镜像散32

§2.8 磁透镜畸变35

§2.9 磁透镜的像转角37

§2.10 磁透镜色差39

§2.11 电单透镜像差43

§2.12 四极透镜像差45

§2.13 特种磁透镜57

§2.14 超导磁透镜63

习题69

参考文献71

第三章 物镜分辨率、最优化设计和像差矫正72

§3.1 物镜衍射分辨率72

§3.2 物镜分辨率极限75

§3.3 衍射分辨率对电源稳定度的要求77

§3.4 最优化设计78

§3.5 电子反射镜矫正器79

§3.6 非旋转对称场矫正器81

§3.7 无色差四极透镜、色差和球差同时矫正84

§3.8 衍射分辨率对像散的要求、像散矫正86

§3.9 像动限制及其克服88

习题89

参考文献90

第四章 电子能量分析器92

§4.1 电子能量分析器的品质因素92

§4.2 平行板分析器95

§4.3 筒镜分析器100

§4.4 筒形偏转分析器104

§4.5 球形偏转分析器114

§4.6 球形阻滞栅分析器119

§4.7 其它电分析器122

§4.8 磁偏转分析器128

§4.9 直射磁扇形分析器128

§4.10 斜射磁扇形分析器137

§4.11 反射镜棱镜分析器144

习题152

参考文献154

第五章 偏转系统156

§5.1 磁偏转器156

§5.2 电偏转器159

§5.3 电八极型偏转器场分布、偏转特性和三级像差164

§5.4 磁透镜和磁偏转器复合167

§5.5 磁聚焦磁偏转复合系统像差的动态矫正174

§5.6 可动物镜（MOL）系统179

§5.7 磁透镜电偏转器系统182

§5.8 电透镜电偏转器系统184

习题188

参考文献190

第六章 电子像显示和记录电子束曝光191

§6.1 荧光材料191

§6.2 荧光像的观察197

§6.3 照相乳胶曝光记录199

§6.4 透明屏光学纤维照相术205

§6.5 微通道板增强像212

§6.6 微光电视技术216

§6.7 电子束抗蚀剂曝光230

习题234

参考文献235

第七章 电子枪离子源236

§7.1 三极电子枪性能237

§7.2 电子枪阴极241

§7.3 钨阴极的寿命243

§7.4 高亮度电子枪长寿命阴极246

§7.5 多级加速型高压电子枪250

§7.6 电子枪电源252

§7.7 场致发射式电子枪255

§7.8 固体离子源260

§7.9 气体放电离子源263

§7.10 熔融金属场致发射离子源268

习题270

参考文献271

第八章 透射电子显微镜272

§8.1 单聚光镜照明系统272

§8.2 双聚光镜系统277

§8.3 物镜280

§8.4 成像放大系统282

§8.5 透镜磁设计286

§8.6 电子光学系统的合轴290

§8.7 电子衍射292

§8.8 景深和焦深调焦器297

§8.9 样品透明厚度298

§8.10 样品制备301

§8.11 成像方式305

§8.12 成像机理306

§8.13 分析电子显微镜312

§8.14 技术性能鉴定及稳定度测定313

参考文献317

习题317

第九章 扫描电子显微镜319

§9.1 工作原理319

§9.2 电子与样品的相互作用321

§9.3 扫描电子显微镜的极限分辨率329

§9.4 物镜设计334

§9.5 次级电子探测器系统337

§9.6 扫描体制339

§9.7 电子束在固体内340

§9.8 电子通道花样342

§9.9 热波成像346

习题347

参考文献347

第十章 电子探针微分析仪349

§10.1 空间分辨率束电压349

§10.2 物镜设计352

§10.3 分光晶体性质354

§10.4 波谱仪原理359

§10.5 正比计数管363

§10.6 能谱仪原理366

§10.7 锂漂移硅探测器368

§10.8 锂漂移硅探测器性能370

§10.9 样品制备376

§10.10 定量分析方法概要379

§10.11 原子序数校正381

§10.12 X射线吸收校正383

§10.13 荧光校正385

§10.14 薄膜分析389

习题390

参考文献391

第十一章 表面分析仪器393

§11.1 低能电子衍射仪394

§11.2 俄歇电子能谱仪395

§11.3 X射线光电子能谱仪401

§11.4 次级离子质谱仪409

§11.5 离子散射谱仪414

§11.6 综合表面分析系统417

习题422

参考文献422

§12.1 电子束曝光423

第十二章 电子束曝光机离子束加工机423

§12.2 扫描技术427

§12.3 电子光学镜筒429

§12.4 定位431

§12.5 加速电压436

§12.6 离子束加工机436

习题437

参考文献437

附录439

附表1 磁透镜轴上场分布439

附表2 磁透镜形状系数440

附表3 磁透镜聚焦性能441

附表4 磁透镜球差系数449

附表5 磁透镜色差系数451

附表6 化学元素的K、L和M能级的激发电势453

附表7 化学元素的K和L系主要谱线的光子能量455

附表8 化学元素的K、L和M吸收限波长458

附表9 化学元素的质量衰减系数［μm（cm2/g）］460

附表10 若干有机膜和混合气体的质量衰减系数［μm（cm2/g）］464

附表11 化学元素的K、L和M系荧光产额的平均值466

附表12 某些低和中等原子序数化学元素的K系荧光产额ωk新近实验值467