图书介绍
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- 郭方准著 著
- 出版社： 大连：大连理工大学出版社
- ISBN：9787561170359
- 出版时间：2012
- 标注页数：142页
- 文件大小：12MB
- 文件页数：150页
- 主题词：真空技术
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图书目录
第1章 真空知识概论1
1.1什么是真空1
1.2真空的发现和理论基础4
1.3几个重要的概念8
1.4真空技术的应用13
第2章 真空密封15
2.1永久密封15
2.2非永久密封18
2.3真空法兰23
2.4真空导入要素30
2.5波纹管34
第3章 影响真空度的要素36
3.1真空检漏36
3.2真空中的材料气体放出44
3.3真空材料的表面净化和抛光47
3.4真空系统的排气计算50
第4章 真空系统57
4.1真空系统的构成57
4.2真空腔体65
4.3真空泵70
4.4真空计84
4.5真空阀门94
4.6各种运动导入器101
4.7配管连接元件115
第5章 典型的薄膜生长方式118
5.1物理方式成膜（Physical Vapor Deposition：PVD）118
5.2化学方式成膜（Chemical Vapor Deposition： CVD）125
附录129
参考文献142