图书介绍
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- 薛实福，李庆祥编著 著
- 出版社： 北京：清华大学出版社
- ISBN：730200806X
- 出版时间：1991
- 标注页数：442页
- 文件大小：22MB
- 文件页数：452页
- 主题词：仪器(学科: 设计)
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图书目录
第一章 精密仪器设计概论1
§1-1 概述1
一、精密仪器是仪器仪表学科的重要组成部分1
二、我国精密仪器发展的状况1
三、仪器仪表行业的任务2
四、本课程的目的与要求2
§1-2 仪器的分类2
§1-3 仪器的基本组成4
一、设计指导思想6
§1-4 精密仪器设计的指导思想、原则与程序6
二、设计原则7
三、设计程序8
§1-5 精密仪器发展的特点和趋势8
第二章 精密仪器设计的精度理论10
§2-1 仪器精度理论中的若干基本概念10
一、误差10
二、精度11
三、精密仪器的精度指标13
§2-2 仪器误差的来源与分析22
一、原理误差22
二、制造误差23
三、运行误差24
§2-3 仪器误差的计算分析方法27
一、误差独立作用原理27
二、微分法28
三、几何法29
四、逐步投影法29
五、作用线与瞬时臂法30
§2-4 仪器误差的综合33
一、随机误差的合成33
二、系统误差的合成34
三、不同性质误差的合成35
四、误差合成举例35
§2-5 仪器精度设计与误差分配38
一、仪器精度指标的制定38
二、仪器精度分配步骤与依据38
三、误差的分配方法39
§2-6 仪器的动态精度40
一、临界频率特性41
二、被测量件的临界送进速度41
三、极限动态误差41
四、精度幅频特性42
五、精度过渡函数43
第三章 精密机械系统的设计46
§3-1 基座与支承件46
一、基座与支承件的结构特点及主要技术要求46
二、基座与支承件的结构设计50
三、基座与支承件的材料选择65
§3-2 精密X-Y工作台66
一、X-Y工作台的性能要求、型式及组成66
二、导轨的基本要求68
三、滑动摩擦导轨77
四、滚动摩擦导轨80
五、液体静压导轨86
六、空气静压导轨98
§3-3 伺月艮机械系统设计108
一、伺服系统的分类109
二、机械传动装置的主要参数确定原则110
三、机械传动装置的特性分析和计算113
四、开环系统的误差分析与校正114
五、开环系统的力Ⅱ减速控制电路121
六、闭环伺月艮系统123
一、主轴系统设计的基本要求139
§3-4 主轴系统139
二、滚动摩擦轴系146
三、滑动摩擦轴系152
四、主轴设计182
第四章 微位移技术184
§4-1 概述184
一、微位移机构的分类及应用185
二、几种常用的微动工作台简介187
§4-2 压电、电致伸缩器件193
一、压电与电致伸缩效应——机电耦合效应193
二、材料194
三、压电、电致伸缩器件196
§4-3 电磁控制的微动工作台199
一、电磁驱动原理199
二、位置控制范围200
三、设计中考虑的几个问题201
四、应用实例202
§4-4 柔性铰链203
一、柔性铰链的类型203
二、柔性铰链的设计203
二、精密微动工作台设计中的几个问题211
一、微动工作台的设计要求211
§4-5 精密微动工作台的设计及其特性分析211
三、精密微动工作台的设计215
四、微动工作台的特性分析217
§4-6 其它类型的微位移机构221
一、电热式微位移机构221
二、机械式微位移机构222
三、机械组合式微位移机构223
§4-7 调焦与调平225
一、气动调焦227
二、斜光束自动调焦233
三、象散法自动调焦236
四、比相法自动调焦237
五、图象处理法自动调焦239
六、偏心光束法自动调焦242
七、其它自动调焦方法简介244
第五章 定位与测量系统248
§5-1 概述248
§5-2 光电编码技术249
一、编码器的种类249
二、透射式光电编码器中的几个基本问题253
一、莫尔条纹定位测量原理255
§5-3 光栅定位测量系统255
二、莫尔条纹读数系统259
三、光栅副的设计262
四、影响莫尔条纹信号的因素262
五、莫尔条纹信号的细分265
六、圆光栅莫尔条纹270
七、三光栅系统275
八、零位光栅277
§5-4 其它编码器283
一、线纹尺与度盘283
二、码尺与码盘285
三、感应同步器与旋转变压器287
四、磁栅290
§5-5 激光干涉定位测量系统293
一、干涉仪的原理293
二、干涉仪设计中的几个问题294
三、双频激光干涉仪319
§5-6 微小尺寸测量系统323
一、微位移的测量324
二、微细图形尺寸的测量324
三、膜层厚度测量330
第六章 瞄准与对准系统340
§6-1 接触式瞄准方法341
一、机械测头341
二、光电测头345
三、电学测头345
§6-2 非接触式瞄准方法350
一、光学法350
二、光电显微镜352
三、光电准直仪359
§6-3 光电自动对准系统360
一、光度式光电自动对准361
二、扫瞄式光电自动对准364
三、光栅衍射式光电自动对准370
四、波带片式光电自动对准374
五、x射线、电子束自动对准376
第七章 总体设计378
§7-1 设计方法概述378
一、新产品设计试制过程378
二、设计方法概述380
§7-2 设计任务分析384
一、主要参数与技术指标的内容385
§7-3 主要参数与技术指标385
二、确定主要参数和技术指标的方法386
§7-4 总体方案的制定393
一、基本设计原则393
二、总体方案制定的内容404
第八章 典型精密仪器设计411
§8-1 概述411
一、集成电路发展简况411
二、大规模集成电路制作技术411
三、国内外图形发生器简况414
§8-2 光学图形发生器总体设计419
一、光学图形发生器制版的基本原理及图形发生器的基本功能420
二、主机总体方案421
三、精密定位工作台426
四、计算机控制方式427
五、光学系统与成象质量428
§8-3 TF-2型光学图形发生器的设计简介432
一、TF-2型光学图形发生器设计技术指标432
二、设计任务分析及总体方案432
三、整机结构原理434
四、误差分配与精度分析439
主要参考文献442