图书介绍
微机械的制造与应用PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 谢国章编著 著
- 出版社： 北京：电子工业出版社
- ISBN：7505313142
- 出版时间：1991
- 标注页数：81页
- 文件大小：5MB
- 文件页数：86页
- 主题词：
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图书目录
目录1
第一章 微机械的开发背景和制造技术基础1
第一节 微机械的开发背景1
第二节 硅材料的机械特性5
第三节 微机械的通用加工技术9
第二章 微机械的制造和应用实例25
第一节 微型压力传感器25
第二节 微型加速计30
第三节 全集成气相色谱分析系统34
第四节 墨水喷嘴阵列39
第五节 光纤耦合器和光集成器件43
第六节 微型冷却器46
第七节 硅扭转镜49
第八节 光调制器阵列54
第九节 微开关62
第十节 热印刷头69
第十一节 微型机械手72
第十二节 微型涡轮机77
参考文献81