图书介绍
大规模集成电路新进展PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 上海市电子学会主编 著
- 出版社: 上海:上海科学技术文献出版社
- ISBN:15192·119
- 出版时间:1981
- 标注页数:117页
- 文件大小:29MB
- 文件页数:121页
- 主题词:
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图书目录
目录1
一、即将问世的超大规模集成电路器件1
二、只需单一电源的高性能64 K动态RAM9
三、具有小型机性能的16位微处理机16
四、模拟集成电路中MOS工艺的潜力21
五、全MOS模数转换技术30
六、提高LSI芯片性能的五项技术38
七、将传统器件按比例缩小的H-MOS41
八、短沟道MOS场效应晶体管的探索48
九、激光退火:不用炉子的半导体加工59
十、X射线光刻技术64
十一、腐蚀无钻蚀细线条的等离子体加工装置72
十二、半导体工艺用的离子磨削78
十三、微电路可靠性方面的半导体材料和加工工艺83
十四、混合微电路中的带式自动键合技术89
十五、用扫描电子显微镜测量集成电路的电压95
十六、随机逻辑VLSI器件所用的调速全自动设计程序100
十七、集成电路技术的过去、现在和未来109